연마재 및 연삭 도구 산업 대중 과학
Dec 31, 2024
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열선 화학 기상 증착
HFCVD(열간 필라멘트 화학 기상 증착)는 다이아몬드 필름을 준비하는 공정입니다. 주요 원리는 탄소 함유 가스와 수소의 혼합물을 고온에서 저압 증착을 통해 반응로 챔버에 통과시키고 열선(텅스텐 와이어)을 통해 탄소 함유 활성기와 여기된 수소 원자로 분해하는 것입니다. 또는 몰리브덴 와이어)를 고온에서 기판에 증착하여 탄소 필름을 형성합니다.(연마재 및 연삭 도구 산업 대중 과학)
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